Sensores de pressão do tipo semicondutor são utilizados numa ampla gama de aplicações que vão desde equipamento de consumo, até equipamento médico, aeroespacial e para a industria. Em outro artigo dessa mesma revista fizemos uma análise do funcionamento de diversos tipos de sensores, de uma forma mais simples, dando algumas aplicações. Voltamos agora com o mesmo assunto, mas focalizando especificamente os sensores do tipo semicondutor, usados na medida de pressão absoluta.
Nos casos mais comuns, a pressão é medida tendo por referência a pressão atmosférica normal, que é a que corresponde a atmosfera que nos cerca. Essa pressão é denominada relativa, ou se usarmos o termoinglês, ¨gage¨.
No entanto, em muitas aplicações é importante que a pressão de um determinado ambiente seja medida em relação ao vácuo. Nesse caso, o que temos é a medida absoluta da pressão.
Como na prática, no ambiente em que vivemos, é impossível obter o vácuo perfeito, a calibração de qualquer tipo de equipamento ou sensor que precise medir pressão absoluta, é um problema sério a ser considerado.
Veja que os equipamentos que “produzem” vácuo, se baseiam na retirada do ar de um ambiente através de um pistão, conforme mostra a figura 1.
Supondo que a cada movimento do pistão ele retire ar em quantidade igual a do ambiente a ser levado ao vácuo, teremos a redução da pressão à metade cada vez que isso ocorrer.
Assim, por mais que esvaziemos o ambiente, a pressão será sermpre metade da anterior e com isso nunca chegará a zero. Teremos uma progressão em que a pressão final P, será em relação à pressão Po inicial dada por:
P = ½ x ½ x ½ x ............. ½ Po
Onde o número de fatores ½ corresponde ao número de vezes que o pistão se movimenta.
Como Funciona
Podemos entender melhor como funciona um medidor de pressão absoluta se partirmos do funcionamento de um medidor de pressão relativa.
A pressão diferencial é medida em relação à dois ambientes, conforme mostra a figura 2.
Essa pressão pode ser expressa em libras por polegada quadrada ou então em kg por centímetros quadrados. Quando um dos ambientes tomado como referência é o ambiente, então temos uma pressão relativa ao ambiente ou à atmosfera normal, ou “gage” .
No caso da pressão absoluta, o ambiente tomado como referência é o vácuo. Esse tipo de medida normalmente é usado em barômetros ou altímetros. Para essas medidas é preciso ter uma referência fixa e não simplesmente o ar ambiente. Isso ocorre, porque a pressão ambiente muda constantemente.
Assim, definimos a pressão absoluta como aquela medida em relação ao vácuo perfeito e as unidades usadas são as da tabela abaixo, em que também temos os fatores de conversão.
Para converter | em | Multiplique por |
Atmosferas | bar | 1.01295 |
atmosferas | dinas/cm2 | 1.01295 x 106 |
Atmosferas | in. Hg | 29.9213 |
Atmosferas | in. Água | 406.86 |
Atmosferas | Kg/cm2 | 1.03325 |
Atmosferas | mbar | 1012.95 |
Atmosferas | mtorr ou micron Hg | 7.6 x 105 |
Atmosferas | Pa ou N/m2 | 1.01295 x 105 |
Atmosferas | PSI ou lb/in2 | 14.696 |
atmosferas | torr ou mm Hg | 760 |
bar | Atmosferas | 0.9872 |
bar | dinas/cm2 | 1 x 106 |
Bar | in. Hg | 29.54 |
Bar | in. Água | 401.65 |
Bar | kg/cm2 | 1.02 |
Bar | Mbar | 1000 |
Bar | mtorr ou micron Hg | 7.5028 x 105 |
Bar | Pa ou N/m2 | 1 x 105 |
Bar | psi ou lb/in2 | 14.503861 |
Bar | torr ou mm Hg | 750.2838 |
Dinas/cm2 | atmosferas | 9.872 x 10-7 |
dinas/cm2 | Bar | 1 x 10-6 |
Dinas/cm2 | in. Hg | 2.954 x 10-5 |
dinas/cm2 | in. Água | 4.0165 x 10-4 |
dinas/cm2 | kg/cm2 | 1.0200 x 10-6 |
dinas/cm2 | mbar | 1 x 10-3 |
dinas/cm2 | mtorr ou micron Hg | 0.75028 |
Dinas/cm2 | Pa ou N/m2 | 0.1 |
dinas/cm2 | psi ou lb/in2 | 1.4508 x 10-5 |
Dinas/cm2 | torr ou mm Hg | 7.5028 x 10-4 |
in. Hg | Atmosferas | 3.342 x 10-2 |
in. Hg | bar | 3.385 x 10-2 |
in. Hg | Dinas/cm2 | 3.385 x 104 |
in. Hg | in. Água | 13.598 |
in. Hg | kg/cm2 | 3.4532 x 10-2 |
in. Hg | mbar | 33.85 |
in. Hg | mtorr ou micron Hg | 2.54 x 104 |
in. Hg | Pa ou N/m2 | 3385 |
in. Hg | psi ou lb/in2 | 0.4912 |
in. Hg | torr ou mm Hg | 25.4 |
in. água | Atmosferas | 2.458 x 10-3 |
in. água | bar | 2.489 x 10-3 |
in. água | Dinas/cm2 | 2.489 x 10-3 |
in. água | kg/cm2 | 2.5396 x 10-3 |
in. Água | in. Hg | 7.354 x 10-2 |
in. água | mbar | 2.489 |
in. água | mtorr ou micron Hg | 1.868 x 10-3 |
in. água | Pa ou N/m2 | 248.9 |
in. água | psi ou lb/in2 | 3.612 x 10-2 |
in. áater | torr ou mm Hg | 1.868 |
kg/cm2 | Atmosfera | 0.9678 |
kg/cm2 | bar | 0.9804 |
kg/cm2 | Dinas/cm2 | 9.804 x 105 |
kg/cm2 | in. Hg | 28.958 |
kg/cm2 | in. água | 393.76 |
kg/cm2 | Mbar | 9.804 x 102 |
kg/cm2 | mtorr ou micron Hg | 7.3554 x 105 |
kg/cm2 | Pa ou N/m2 | 9.804 x 104 |
kg/cm2 | Psi ou lb/in2 | 14.223 |
kg/cm2 | torr ou mm Hg | 7.3554 x 102 |
mbar | Atmosfera | 9.872 x 10-4 |
mbar | bar | 0.001 |
mbar | dinas/cm2 | 1000 |
mbar | kg/cm2 | 1.0200 x 10-3 |
mbar | in. Hg | 2.954 x 10-2 |
mbar | in. água | 0.4018 |
mbar | mtorr ou micron Hg | 7.5028 x 102 |
mbar | Pa ou N/m2 | 100 |
mbar | psi ou lb/in2 | 1.450 x 10-2 |
mbar | torr ou mm Hg | 0.75028 |
mtorr ou micron Hg | atmosfera | 1.316 x 10-6 |
mtorr ou micron Hg | Bar | 1.3328 x 10-6 |
mtorr ou micron Hg | dinas/cm2 | 1.3328 |
mtorr ou micron Hg | kg/cm2 | 1.3595 x 10-6 |
mtorr orumicron Hg | in. Hg | 3.937 x 10-5 |
mtorr ou micron Hg | in. água | 5.353 x 10-4 |
mtorr ou micron Hg | mbar | 1.3328 x 10-3 |
mtorr ou micron Hg | Pa ou N/m2 | 0.13328 |
mtorr ou micron Hg | psi ou lb/in2 | 1.934 x 10-5 |
mtorr ou micron Hg | torr ou mm Hg | 1 x 10-3 |
Pa ou N/m2 | atmosfera | 9.869 x 10-6 |
Pa ou N/m2 | bar | 1 x 10-5 |
Pa ou N/m2 | Dinas/cm2 | 10 |
Pa ou N/m2 | kg/cm2 | 1.020 x 10-5 |
Pa ou N/m2 | in. Hg | 2.954 x 10-4 |
Pa ou N/m2 | in. água | 4.018 x 10-3 |
Pa ou N/m2 | mbar | 0.01 |
Pa ou N/m2 | mtorr ou micron Hg | 7.5028 |
Pa ou N/m2 | psi ou lb/in2 | 1.4508 x 10-4 |
Pa ou N/m2 | torr ou mm Hg | 7.5028 x 10-3 |
psi ou lb/in2 | atmosferas | 0.068046 |
psi ou lb/in2 | bar | 0.068948 |
psi ou lb/in2 | dinas/cm2 | 6.8948 x 104 |
psi ou lb/in2 | kg/cm2 | 7.0309 x 10-2 |
psi ou lb/in2 | in. Hg | 2.036 |
psi ou lb/in2 | in. águaa | 27.68 |
psi ou lb/in2 | mbar | 68.948 |
psi ou lb/in2 | mtorr ou micron Hg | 5.171 x 104 |
psi ou lb/in2 | Pa ou N/m2 | 6.8927 x 103 |
psi ou lb/in2 | torr ou mm Hg | 51.71 |
torr ou mm Hg | atmosferas | 1.3158 x 10-3 |
torr ou mm Hg | bar | 1.3328 x 10-3 |
torr ou mm Hg | dinas/cm2 | 1.3328 x 10-3 |
torr ou mm Hg | Kg/cm2 | 1.3595 x 10-3 |
torr ou mm Hg | In. Hg | 3.937 x 10-2 |
torr ou mm Hg | In. água | 0.5353 |
torr ou mm Hg | mbar | 1.3328 |
torr ou mm Hg | mtorr ou micron Hg | 1000 |
torr ou mm Hg | Pa ou N/m2 | 133.28 |
torr ou mm Hg | psi ou lb/in2 | 1.934 x 10-2 |
Sensores Semicondutores
Na figura 3 temos então um sensor de pressão semicondutor visto em corte.
Conforme podemos observar, nesse sensor existe uma cavidade selada em que é feito o vácuo. A pressão nessa cavidade serve, portanto de referência para o sensor.
É claro que na prática, conforme explicamos, é impossível obter um vácuo perfeito. Assim, os fabricantes desses sensores esmeram-se no sentido de se obter uma pressão de referência que seja a mais próxima possível de zero.
A SensorTechnics (www.sensortechynics) , por exemplo, consegue um “vácuo” com apenas 0,0005 psi ou 25 militorr, o que é um valor extremamente baixo que serve perfeitamente para as aplicações comuns, eliminando também eventuais problemas que podem ocorrer quando um gás vestigial que exista na cavidade muda de temperatura (conforme a lei de Boyle).
Ajustes
No entanto, mesmo havendo uma referência fixa, os circuitos com que operam esses sensores precisam de ajustes.
Esses sensores, como o mostrado na figura 3, operam na configuração em ponte de Wheatstone.
Aplicando-se uma tensão em suas extremidades, a tensão na saída deve ser ajustada para ser zero quando a pressão externa (medida) também for zero.
Na prática, mesmo com a pressão nula, temos uma tensão offset de saída que precisa ser compensada. Isso normalmente é feito através do próprio circuito usado na medição, com base em amplificadores operacionais.
Assim, na figura 4 temos um circuito amplificador para um sensor desse tipo que tem recursos de calibração.
Como na prática não é possível obter uma pressão nula para efeito de calibração, utiliza-se de um artifício que melhor pode ser entendido com base no gráfico da figura 5.
O que se faz é medir a pressão em dois pontos de valor conhecidos e, através de um gráfico extrapolar o comportamento do sensor na faixa desejada. Esse gráfico, pode ajudar a determinar o erro de offset e fazer sua compensação.
Conclusão
Sensores absolutos do tipo semicondutor são de grande utilidade em muitas aplicações e sua confiabilidade possibilita seu uso nos casos mais críticos.
No entanto, a utilização deve ser feita com cautela e conhecimento, principalmente se levarmos em conta as dificuldades de se fazer sua calibração.